香江的天气已经开始慢慢变凉。
此时已是华夏阳历9月末下旬,华夏传🎂🎏🐂统佳节中秋才是刚过🜆⛟。
经过四个多月的奋战,香江积体电路🄐☒制造有限公司新升级扩建的厂房内,1.2微米的芯片线设备已经部安装完毕,整个生产线的升级改造工期虽然接🕗近尾声,但是生产线设备的调试却依旧在密锣紧鼓进行中,场面热火朝天📦。
这四个月,余子贤也是来回往返于曰本和香江,协调各项示🜆⛟意。
此时,香积电生产线升级改造负责人曹飞📡🜚副总经理和技术研发中心(实验室规模已经升级)主任蔡俊杰带着余子贤和鹿岛智树、还有蔡俊杰的导师麻生俊一等人参观即将升🇲级📀🗭🞵完毕的厂房和生产线设备。
芯片制造厂🆑🎺🖍房可以分为6个独立的厂区,每一区都包括数种晶圆制程相关设🈵🂬👵备。
在这一次的生产厂房扩建中,按照生产工艺工序流程,对每个区所需要的🚊👩🚊👩制程步骤开出设备规格,然后进行生产线自动化系统上线、设备装机、制程🕎🈠⛚调整和整合等工作,确认个产品的良率能够顺利达到要求。
一个集体🌌电路的制造需要数百道的步骤,便⚢是在这6个厂区中循环往复,多层建构而成,将MOS原件和电路设计的导线如盖房子一样,分层堆叠在晶圆上。🜦🄜♾每道制程中的量产规格,包括量测数据和相关制程参数设定,是采购和验收设备的标准,也是每一家芯片大厂商的专利及核心技术的组成部分,而制程技术的实现则是需要通过购买的实现。
而此时的香积电已经基本掌握1🌻.2微米芯片大规模制造工艺工序流程,包🈵🂬👵括其中的核心技术以🏅🗰🟑及专利。
正在🆘🏴🞕参观光刻区域跟随参观的余子贤,却突然被穿着洁净服的人拦住,余子贤定眼一看,却发现是程渡。
“余总,佟🆑🎺🖍若愚🗙🜅从曰本打来电话,现🄐☒在遇到了一些麻烦!”
“麻烦?什么麻烦?”此时的香积电生产线改造以及接近尾声,目前剩下的主要工作🐲就😰🅅🄎是对设备的最后调试。
因为有大量厂家技术员的帮忙联合调试设备⚢,余子贤现在很有信心,在生产线启动就可以实现30%的良率。
尤其是ASML派遣了好几个专家级的设备工程师到厂指导,甚至派了一个光刻工艺工程师常驻香积电,就为了🗧香积电光刻厂区以及设备的正常投运。
光刻是整个集成🗙🜅电路制造过程中耗时最长、难度最大的工艺,耗时占芯片制造50%左右🚯,成本约占芯片生产成本的1/3🝦🍚🈭。
所以,此时ASML的积极参与对于香积电生产线及时高良率投运的重要性不言而🎰喻。
当然🆘🏴🞕,ASML这样做也不是没有目的,毕竟在刚刚过去的8月,ASML公司推出了象征着他开始走向成熟的PAS5500光刻机。此时的PAS5500已经拥有了业界领先的生产力和分辨率,为ASML打破尼康光刻机的市场垄断奠定了坚实基础。PAS5500取🕨🌋得巨大成功似乎已经可以预见。